以as的顶尖光刻机来说，其使用波长短的极紫外光，光学系统可以说是极复杂。

有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。

两者需始终同步，误差

我的超级黑科技帝国第一百七十三章 这是一场荣耀之旅求订阅

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